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题名/责任者:

微电子工艺原理与技术/田丽 ... [等] 主编

出版发行项:

哈尔滨:哈尔滨工业大学出版社,2021.08

ISBN及定价:

978-7-5603-9067-3/CNY78.00

载体形态项:

438页:图;26cm

并列正题名:

Microelectronics processing principle and technology

个人责任者:

田丽, 1973- 主编

个人责任者:

王蔚, 1960- 主编

个人责任者:

刘红梅, 1976- 主编

学科主题:

微电子技术-高等学校-教材

中图法分类号:

TN4

中图法分类号:

TN405

一般附注:

“双一流”建设精品出版工程

题名责任附注:

题名页题: 田丽, 王蔚, 刘红梅, 任明远主编

责任者附注:

田丽, 黑龙江省哈尔滨市人, 1973年生, 工学博士。中共党员, 哈尔滨工业大学航天学院微电子科学与工程系教授级高工。王蔚, 上海市人, 1960年生, 工学博士。哈尔滨工业大学航天学院微电子科学与工程系教授级高工。刘红梅, 辽宁省大连市人, 1976年生, 工学博士。黑龙江大学电子工程学院副教授、硕士研究生导师。

书目附注:

有书目 (第412-414页)

提要文摘附注:

本书分5篇14章。第1篇介绍了硅衬底, 主要介绍硅单晶的结构特点, 单晶硅锭的拉制及硅片 (包含体硅片和外延硅片) 的制造工艺及相关理论。第2-5篇介绍了硅芯片制造基本单项工艺 (氧化与掺杂、薄膜制备、光刻、工艺集成与封装测试) 的原理、方法、设备, 以及所依托的技术基础及发展趋势。附录A介绍了以制作双极型晶体管为例的微电子生产实习, 双极型晶体管的全部工艺步骤与检测技术; 附录B介绍了工艺模拟知识和SUPREM软件。附录部分可帮助学生从理论走向生产实践, 对微电子产品制造技术的原理与工艺全过程有更深入的了解。

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